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微纳机电系统与微纳传感器技术

作者:国家自然科学基金委员会,中国科学院 ISBN:978-7-03-065240-9  出版日期:2020-08  丛书:
关键词:  中图法分类: 
内容提要

本书对微纳机电系统与微纳传感器领域的主要技术进行了分类阐述,全面总结了技术的发展现状,客观分析了技术的发展态势,从学科的发展规律和研究特点出发,前瞻性地思考了技术的发展思路与发展方向,提出了我国发展该学科的资助机制与政策建议。

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